西安环保《环境友好系列含氟电子气体的催化制造技艺开发及应用》获陕西省科学技艺奖一等奖

时间:2019-04-12

4月9日上午,陕西省科学技术革新全体会议暨科学技艺奖赏全体会议在西安隆重举行。西安环保参与完成的《环境友好系列含氟电子气体的催化制造技艺开发及应用》获得陕西省科学技艺奖一等奖。

《环境友好系列含氟电子气体的催化制造技艺开发及应用》成果属于环境化学工程技艺领域,旨在开发用于芯片、大型集成电路等制造的关键材料——电子用高纯含氟气体,包括碳酰氟、三氟碘甲烷等系列化合物,该成果为我国履行《蒙特利尔议定书》、《京都议定书》及《巴黎协定》等国际公约提供了核心技艺支撑。此刻,产品已被Intel企业、SAMSUNG企业、Saval企业以及Casio株式会社等国际知名企业所使用。

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